PX730i | ||
晶圆类型与尺寸 |
|
|
UPH | 设备速度: 30K; 包含视检: up to 24K | |
分拣索引时间 | 低至60ms | |
设备尺寸范围 | WLCSP & QFN: 0.8mm x 0.8mm; | Thickness 厚度 ≥ 0.1mm | |
流程 | 翻转流程,非翻转流程 | |
输入 | 晶圆,卷带 | |
输出 | Waffle盘, 卷带, 卷带宽度: 8mm, 12mm, 16mm | |
MTBA | Typ. > 1 hr | |
MTBF | Typ. > 168 hrs | |
转换时间 | Typ. < 45 mins | |
输入电压 | 415 VAC, 3 相,50/60Hz | |
压缩空气 | 5 - 10 ±0.5 bar | |
真空 | -0.5 ±0.1 bar | |
尺寸(长x宽x高) | 2450mm x 1920mm x 2000mm | |
重量 | < 2500 kg |